據張通社報道，睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱“睿勵科學儀器”）宣布完成近5億元戰略融資，本輪融資由金石投資和招商致遠聯合領投，河南資產、金信資本、鼎青投資等跟投。所融資金主要用于進一步提升先進半導體制程用的光學量檢測設備的國產替代能力，豐富產品種類，加大市場開拓力度能力。

睿勵科學儀器成立于2005年，總部位于上海張江。公司致力于開發、生產和銷售具有自主知識產權及核心技術的集成電路芯片制造工藝用的光學量檢測設備。

2005年，曾任全球大量檢測設備企業研發科學家、研發經理的呂彤欣博士，回國創辦了國內一家專注于集成電路生產前道工藝量檢測設備開發的企業——睿勵科學儀器。公司核心團隊來自行業國際巨頭，專業技術團隊成員大都來自國際前兩名的量檢測設備企業以及國內著名光學技術類公司，擁有多項全自主研發的專利技術。

睿勵科學儀器總經理楊峰表示：“非常感謝投資方的認可與支持。我們將繼續深耕集成電路芯片生產工藝檢測設備市場，進一步豐富光學量測和光學缺陷檢測產品系列，為實現集成電路前道工藝檢測設備國產化全面替代的目標而努力。”他指出，未來，睿勵科學儀器將持續聚焦在光學量檢測領域，完善膜厚量測、OCD量測、缺陷檢測，開發包括OVL的其他光學量檢測設備。

中微半導體相關負責人表示：“隨著集成電路產業的快速發展，工藝檢測設備的市場需求日益增長，國產化替代進口設備是大勢所趨，睿勵科學儀器在這方面具有巨大的發展空間和市場機會。隨著新一輪融資的完成，我們期待睿勵科學儀器能夠進一步加速產品研發和市場拓展，鞏固其在光學量檢測領域的領先地位。中微半導體將繼續提供全方位的支持，以促進睿勵科學儀器的創新發展和持續成長。我們相信，通過雙方的緊密合作，能為推動國內半導體產業鏈的自主可控和高質量發展做出更大的貢獻。”

本輪融資領投機構金石投資相關負責人表示：“量檢測設備作為晶圓制造工藝的‘尺’，是工藝過程質量控制和保證產線良率‘看護人’，其國產化的自主突破對于國內半導體產業鏈具有重大的戰略意義。睿勵科學儀器團隊深耕該領域近20年，擁有較強的技術優勢、較高的業務專注度以及產品創新能力，是業內具有綜合競爭實力的企業。我們期待與睿勵科學儀器一同成長，為我國集成電路產業自主可控貢獻力量。”