睿勵科學儀器(上海)有限公司（以下簡稱「睿勵科學儀器」）近日完成數億元B輪融資，本輪融資由金石投資、招商致遠領投，清控金信、河南資產、鼎青投資等資方跟投。

所融資金主要用于進一步提升先進半導體制程用的光學量檢測設備的國產替代能力，豐富產品種類，加大市場開拓力度能力。

睿勵科學儀器成立于2005年，總部位于上海張江。公司致力于開發、生產和銷售具有自主知識產權及核心技術的集成電路芯片制造工藝用的光學量檢測設備。公司總部位于上海浦東新區，其團隊成員多來自全球前兩位量檢測設備企業和國內知名光學技術公司，有18年產品開發和市場應用經驗。

睿勵科學儀器總經理楊峰表示：“非常感謝投資方的認可與支持。我們將繼續深耕集成電路芯片生產工藝檢測設備市場，進一步豐富光學量測和光學缺陷檢測產品系列，為實現集成電路前道工藝檢測設備國產化全面替代的目標而努力。”他指出，未來，睿勵科學儀器將持續聚焦在光學量檢測領域，完善膜厚量測、OCD量測、缺陷檢測，開發包括OVL的其他光學量檢測設備。

金石投資表示，半導體設備是半導體產業的基石，中國半導體產業的蓬勃發展有賴于半導體設備的技術和產品突破，量檢測是其中的關鍵環節。睿勵科學作為中國最早的一批量檢測設備公司，吸引了來自于國內外的頂尖人才，堅持技術創新，聚焦光學技術，我們相信睿勵科學將繼續保持技術和產品領先，幫助先進制程實現國產替代的突破和發展。

招商致遠表示，半導體量檢測設備面臨巨大的市場空間和國產替代機遇，也具有很高的壁壘。招商致遠看好半導體量檢測賽道，期待睿勵科學憑借優秀的團隊和多年的技術積累和量產經驗，成為該細分賽道的領導者。