南京埃米儀器科技有限公司（下簡稱：埃米儀器）完成數千萬元Pre-A輪融資，博將資本領投。本輪融資將用于進一步提升先進半導體制程用的高精密量測設備的國產替代能力，豐富產品種類，加大市場開拓力度能力。

埃米儀器成立于2022年，公司成立以來一直引領國內高精密 3D 量測設備的國產化，攻克核心技術。產品聚焦于納米/亞納米級三維結構的高精密高速量/檢測裝備。產品主要應用于芯片制程中的微結構量測和缺陷檢測，解決相關領域的卡脖子技術。

公司擁有一支以國家級人才為主的研發核心團隊，目前已與南京大學、山東大學、南智光電研究院等國內外科研院所、機構建立密切合作關系。依托公司核心團隊多年技術儲備，聚焦高端量測產品開發，包含用于芯片生產過程控制的超快高精密原子力顯微鏡在線量測設備及高端混合技術量測設備。

技術方面，埃米儀器通過申請專利構筑技術壁壘：目前公司已得到專利授權20余項，相關專利覆蓋原子力顯微鏡和光學量測設備，涉及光電器件、精密機械、定位系統、電氣設計等。

博將資本該項目投資負責人陸元昊表示，量測設備未來將與光刻設備并行發展，發揮至關重要的作用，而原子力顯微鏡作為精度最高的量測設備，在先進制程中正在成為量檢測主力設備。埃米儀器僅成立2年時間便成功研發出國內首臺在線工業級原子力顯微鏡并已實現在某頭部芯片客戶交付。同時，公司通過推動高通量AFM、混合量測等方式彌補傳統AFM機臺在量檢測速度的限制，將大大拓寬傳統原子力顯微鏡的應用領域。我們堅定看好公司的發展，未來也將在多方面持續支持公司。