1、項目基本情況

（1）項目名稱：半導體自動物料搬運系統項目

（2）項目建設單位：沈陽新松機器人自動化股份有限公司

（3）建設地點：遼寧省沈陽市

（4）項目性質：新建

（5）主要產品：自動物料搬運系統、潔凈存儲系統、潔凈搬運機器人。項目建成后，達產年預計可實現年均營業收入約 119,000.00 萬元。

（6）項目總投資：65,572.09 萬元

（7）項目建設周期：2.5 年

（8）主要建設內容：AMHS 裝備制造中心、研發設計大廈、廠區建設工程，廠區建設工程包括廠房改造、生產及輔助生產設施、動力設施、環保設施、安全設施、消防設施、管理設施等。

2、項目經濟效益分析

經過可行性論證及項目收益測算，本項目具有良好的經濟效益。項目實施后，能夠為公司帶來穩定的現金流入。

3、項目的必要性和可行性

（1）項目的必要性

AMHS系統國產化是半導體行業發展必然趨勢

在半導體加工廠中，AMHS 系統（自動化物料搬送系統）非常關鍵，是提高半導體制造產率、成品率以及設備利用率的保證。尤其是對于實現了生產設備與設備之間自動搬送的全自動化半導體工廠，一個高效的 AMHS 系統可以大幅縮短在制品的等待時間，從而縮短晶圓產品的生產周期。

在半導體芯片加工廠中已經大量使用 AMHS 系統，AMHS 系統顯著提升了芯片加工廠的生產效率，并且使晶圓制造過程中的數據得以實時獲取，提升了整個制造過程的管控能力，隨著先進封裝產業的發展進步，AMHS 系統會進一步擴展到后道，成為整個半導

體產業的核心自動化傳輸系統，作為半導體芯片加工廠與先進封裝廠的大動脈，AMHS 系統將有更加廣闊的應用空間，AMHS 系統是現代化半導體工廠自動化系統中最大的單項投資項目，目前市場主要被日本大福、日本村田機械和美國AMAT 等國外公司壟斷。國內半導體制造廠商進口一條 AMHS 系統價格極其昂貴，售后維護和服務費用高昂，給國內半導體制造廠商增加了巨大的經濟成本，實現 AMHS 系統的國產化和自主可控是國內半導體產業發展的必然趨勢。

?AMHS 系統是半導體裝備新的業務增長點

公司自 2018 年 6 月成立半導體裝備事業部以來進一步加強公司在半導體AMHS 領域的技術和服務能力，完善在 AMHS 系統產業的布局。自動物料搬運系統（AMHS）是公司自主研發的面向半導體行業的高端裝備，從 2004 年開始布局研發，在 2010 年開始初步產業化，驗證了自主研發的可行性，在技術方面也得到了深厚沉淀。經過十幾年的發展，公司的自動物料搬運系統（AMHS）已經形成了體系完整、系列豐富、應用廣泛的獨立產品線。

在當前國際形勢下以美國為首的發達國家加強對中國半導體產業的封鎖，國內半導體產業對于自動物料搬運系統（AMHS）需求迫切，具有很大的市場前景，是企業發展潔凈裝備的重要機會，自動物料搬運系統（AMHS）等半導體自動化系統將成為支撐公司未來發展的新的增長點。

（2）項目的可行性

?AMHS 是半導體自動化設備的重要組成部分，市場前景廣闊

半導體制造工廠是高度自動化的生產模式，通過自動化搬運系統在各個設備之間傳輸晶圓的載具，這樣不僅可以提高工廠的生產效率，而且可以監控每一片晶圓的生產過程，保證產品的品質。半導體制造工廠的自動化系統主要由空中無人搬運車（OHT）、潔凈存儲系統（STK）和移動機器人（AGV）等產品組成。

半導體工廠自動化對工廠的稼動率非常重要，直接影響工廠的盈利能力，全球該市場的年采購額在 20 億美金左右，主要為日本村田機械和日本大福所壟斷。公司在國家 02 專項的支持下，廣泛吸收國際先進經驗，以自有技術為基礎，開發了整套的半導體制造工廠自動化系統，公司一方面借助國產化的大環境，積極尋找進入主流工廠的市場機會，另一方面，也在積極開拓芯片封裝工廠、LED制造工廠、8 寸工廠等新市場，希望通過差異化競爭，盡快實現產業化。

隨著 5G、云計算、新能源汽車等新型市場需求的驅動，以及中國半導體制造國產化的大勢所趨，公司的半導體設備自動化產品和工廠自動化產品的前景廣闊，在這個年產值 30 億美金的細分市場逐漸擴大份額，最終成為全球半導體產業鏈中重要的一環。

全球半導體行業與設備市場規模保持穩健增長。半導體行業受益于手機、平板電腦等智能終端的銷售量增長，半導體行業正持續穩定的快速發展，未來隨著人工智能和物聯網產業的進一步擴張，半導體的需求將會激增。

?公司自動物料搬運系統（AMHS）已形成完善的產業鏈條

自動物料搬運系統（AMHS）系統設備主要包括潔凈存儲系統（Stocker）、潔凈軌道系統、空中無人搬運車（OHT）、空中無人穿梭車（OHS）、移動復合機器人（MR）。公司自主研發的自動物料搬運系統（AMHS）系統具有高潔凈度，高可靠性，節能性的特點，標準的 SEMI 軟件接口，可以方便對接 MCS 系統，可實時上報系統各種狀態數據，實現工廠智能管理。

為加強公司自動物料搬運系統（AMHS）系統的技術與服務能力，2018 年公司整合內外部資源，進一步完善公司自動物料搬運系統（AMHS）的產業鏈條，可以為半導體工廠廠提供整套自動物料搬運系統，提高了在潔凈自動化設備領域的競爭力。

公司自動物料搬運系統（AMHS）項目實施與運營經驗豐富公司承擔的國家“02 專項”項目《300mmIC 生產線自動物料搬運系統研發與應用》已經完成驗收，形成了 OHT、OHCV、Stocker、軌道式導引機器人（RGV）等系列產品。

在產業化方面，半導體自動搬運系統（AMHS）已經實現在上海集成電路研發中心生產線上的應用，并成功應用于 Sandisk、賽意法等半導體芯片加工廠，面向面板制造廠開發的掩模版自動物料搬運系統，包含 Stocker、AGV、Unpack、MCS 系統，已經在華星光電 T1、T7 工廠及夏普廣州廠實現成熟應用，成為行業新的標桿解決方案，面向新型 OLED 顯示技術開發的物料搬運存儲系統包含OHCV、BAY、Stocker、磁導航機器人（MGV）、大負載潔凈機械手，已成功應用于維信諾、華星光電等工廠，此外公司的 AGV 等半導體自動搬運子系統在半導體行業中已經實現了批量應用，具有非常豐富的項目實施與運營經驗。